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优耐检测——常见的膜厚测试方法

发布时间:2022-09-25 06:43:20 浏览:11次 来源:hth华体会 作者:华体会app官方下载

  所谓膜层厚度是指基体上的金属或非金属覆盖层的厚度,例如PCB板工艺中的Cu/Ni/Au层,合金上的Ni/Cr覆盖层,塑料件上的金属膜层,金属上的油漆涂层等等。

  被测样品需要经垂直于待测膜层取样进行金相制样,再在金相显微镜下观察并拍照测量待测膜层厚度。

  此方法测试范围宽,适用于测量厚度0.01μm~1mm的金属或非金属膜层;

  样品前处理与金相测厚相同,配有能谱附件(EDS)的SEM设备可以确定每一层膜层的成分。

  XPS设备可以测试样品极表面的元素成分(每次测量的信息深度为5nm左右),并且可以在样品室内直接对样品表面进行溅射,可以去除指定厚度(纳米级)的表层物质,这两个功能结合使用就可以测量出纳米级膜层的厚度;

  例如,样品最表面成分为铑元素,逐步溅射掉表面50nm后发现成分中开始出现大量的铂元素,那么可以判断测试位置铑膜的厚度约为50nm。